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电机设计方案模糊判断.pdf

2015-7-1 10:17:59 来源:网络 作者:中国人 点击:1432

电机设计方案模糊判断.pdf

 

!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 设计与研究"#$ % & ’()*$ % $ +*, -
电机设计方案的多级模糊综合评判
李鲲鹏. 胡虔生
/ 东南大学电气工程系. 江苏 南京 0 1 2 2 3 4 5
摘 要6 设计方案评价是电机设计中的一个重要环节. 以往主要根据设计经验给出定性的评价. 一直以来缺乏定量
的评价7文中应用模糊数学的基本理论与方法建立了电机设计方案的多级模糊综合评判模型. 使得对电机设计方
案的评价具有准确性和客观性7这为电机设计过程智能化创造了条件7最后以永磁无刷直流电机的电磁设计方案
为例作了详细的实例分析. 证明了多级模糊综合评判模型的有效性7
关键词6 多级模糊综合评判8 电机设计8 方案
中图分类号6 9:; 2 0 文献标识码6 < 文章编号6 1 2 2 1 =4 > ? > / 0 2 2 0 5 2 1 =2 2 1 1 =2 ?
@A B C D B E F E B G A H H I& J C E K L M C D F E$ F M B A M C D N JO N LC P E@N C N L#E Q D K JR B M J
S TUV W =X Y W Z .[\]^ _ W =‘ a Y W
/ bY X _ c d eY W df g h i Y j d c ^ j _ i h W Z ^ W Y Y c ^ W Z .k f V d a Y _ ‘ d\W ^ l Y c ‘ ^ d m .n_ W o ^ W Z0 1 2 2 3 4 .p a ^ W _ 5
+q Q C L M r C 6 T Wd a ^ ‘X _ X Y c ._eV i d ^ i Y l Y i g V s s m^ W d Y Z c _ d ^ l YY l _ i V _ d ^ f Wef t Y i f g ef d f ct Y ‘ ^ Z WX i _ W^ ‘Y ‘ d _ u i ^ ‘ a Y tu _ ‘ Y tf W
g V s s md a Y f c m_ W teY d a f t vT d j f V i tY l _ i V _ d Yd a YX i _ Wj f c c Y j d i m_ W tf u o Y j d ^ l Y i m vw ^ W _ i i m .d a YeV i d ^ i Y l Y i g V s s m^ W d Y Z c _ x
d ^ l YY l _ i V _ d ^ f Wef t Y i y_ ‘_ X X i ^ Y td fd a Yt Y ‘ ^ Z Wf g X Y c e_ W Y W d e_ Z W Y d u c V ‘ a i Y ‘ ‘t ^ c Y j d j V c c Y W d ef d f cd a _ d ^ ‘_ X X i ^ Y t
d fY i Y j d c ^ jl Y a ^ j i Y v9a Yc Y ‘ V i d ‘‘ a f yd a _ dd a Yef t Y i ^ ‘Y g g Y j d ^ l Y v
zE I{ N L | Q 6 eV i d ^ i Y l Y i g V s s m^ W d Y Z c _ d ^ l YY l _ i V _ d ^ f W 8ef d f ct Y ‘ ^ Z W 8X i _ W
收稿日期6 0 2 2 1 =1 2 =; 1
} 引 言
电机电磁设计是高阶非线性的复杂问题. 直接
由性能推导设计方案相当困难. 因此通常将电磁设
计过程转化初始方案选择~ 性能核算~ 方案评价~ 方
案调整和新方案形成的一个循环和优化的过程 17
方案评价在整个设计过程中起着重要作用. 是方案
调整与最佳方案确定的基础7 长期以来. 设计方案的
评价主要依据设计者的经验给出定性的评价. 人的
主观因素影响较大. 由于电机设计方案的评价因素
很多. 很难保证评价的准确性和客观性7 因此需要建
立一个完整的评价模型来刻划设计方案的评价过
程7
电机电磁设计方案评价因素涉及面很宽. 且因
素之间存在层次关系7一般分为电机主要性能指标
如额定功率~ 效率~ 起动电流等8 电机内部的电磁参
量及工艺如定转子齿部轭部磁密~ 槽满率等8 经济指
标如有效材料的成本7我们对单个因素的评价标准
是不同的. 且这些因素对电机设计方案优劣的影响
程序也不同. 很难用单一模式来评价7 整个方案评价
应是各个评价因素的综合7这些因素的评价与综合
通常应用以经典集合论为基础的数学方法进行描
述. 但是有其方法本身固有的局限性7 本文应用以模
糊集合论为基础的模糊数学方法建立设计方案的多
级模糊综合评判模型7
多级模糊评判建模及模型分析
多级模糊评判模型由评价因素集~ 评价集~ 因素
权重集~ 隶属函数及单因素评价矩阵~ 模糊操作算子
等几部分组成 07本文以永磁无刷直流电机的电磁
设计方案为评价对象建立多级模糊评判模型7
v } 评价因素集
决定永磁无刷直流电机电磁设计方案质量的因
素主要有6 电机主要性能指标. 主要材料成本. 电机
内部的主要电磁参数7因此评价因素集为6
1 . 0 . ;
1 1 1 . 1 0 . 1 ; . 1 ? . 1. 1 4
0 0 1 . 0 0 . 0 ; . 0 ?
; ; 1 . ; 0 . ; ; . ; ?
; 1 ; 1 1 . ; 1 0 . ; 1 ; . ; 1 ?
/ 1 5
式中. 1电机主要性能指标. 0电机主要材料
成本. ;电机内部主要电磁参数. 其中每个因素
电机设计方案的多级模糊综合评判 李鲲鹏 胡虔生

! " #$ % & % ’ ( 中又由一些子因素 )" * % )" * + ! * % + #$ % & %
’ % , ( 构成 -表 ’详细给出了评价因素集及其层次关
系-由此可以看出本例宜采用三级模糊综合评判-
. / . 因素权重集
为了反映各个因素对电磁设计方案的重要程度
建立了因素权重集-各个因素的权重可视为它们对
0 重要1 的隶属度% 因此因素权重集可视为因素集上
的模糊子集% 表示为2
3 4#5 $ 6 )$ 75 & 6 )& 75 ’ 6 )’
3 4$ #5 $ $ 6 )$ $ 75 $ & 6 )$ & 75 $ ’ 6 )$ ’ 75 $ , 6 )$ , 75 $ 8 6 )$ 8 75 $ 9 6 )$ 9
3 4& #5 & $ 6 )& $ 75 & & 6 )& & 75 & ’ 6 )& ’ 75 & , 6 )& ,
3 4’ #5 ’ $ 6 )’ $ 75 ’ & 6 )’ & 75 ’ ’ 6 )’ ’ 75 ’ , 6 )’ ,
3 4’ $ #5 ’ $ $ 6 )’ $ $ 75 ’ $ & 6 )’ $ & 75 ’ $ ’ 6 )’ $ ’ 75 ’ $ , 6 )
:
;
< ’ $ ,
! & (
评价因素权重的确定是设计者对领域问题理解
的一个重要方面% 是设计者经验和用户意志的体现-
它们相当程度上决定了多级模糊综合评判的可信度
和正确性-因此有必要采取适当的方法将这种理解
程度= 经验= 用户意志量化-在本文中采取层次分析
法! >?@ ( = 专家评判和直接给出法相结合的方法确
定权重值-一般对部分因素间重要程度有定性的认
识% 而直接给出所有因素间权重有困难- 因此首先通
过两两比较建立判断矩阵% 然后通过求判断矩阵最
大特征值对应的特征向量确定权重值A ’ B -权重集的
确定分为2 初始值确定= 一致性或者合理性检验= 局
部调整 ’个阶段% 如图 $所示-
一般% 因素子集中的各项性能指标的重要性相
对而言例如2 效率与额定功率% 效率最为重要% 但是
如果某一个设计方案的额定功率低到可允许的标准
图 $ 因素权重集的确定
之下% 尽管效率很高% 这个方案还是很差的-这表明
当电机额定功率低于某一阈值或者高于某一阈值
时% 效率的权重就要下降% 额定功率的权重就要提
高-通常因素集的相对重要性的顺序为 )$ = )& = )’ -
方案评价过程实际上是一决策过程- 一般% 人们在决
策过程中对每一个因素的权衡都要随具体进程的不
同空间位置和时间停留而不断修改调整% 甚至发生
大的跳跃-因此% 因素权重是时间和空间状态的函
数-
针对实际问题的复杂性% 可以采取下面的措施
体现权重随时间和状态空间的变化2 C权重定期修
正或者重新确定-D在某一时刻权重与状态空间的
函数关系可近似如下所示的分段函数2
4" # 4" $ % E ! F " ( GA H % 5 (
4" & % E ! F "
I J
K ( GA 5 % $ B H L5 L$ ! ’ (
E ! F " ( 是因素 )"隶属函数% 5依据具体的因素
确定-
. / M 单因素评价矩阵与模糊综合
电机电磁设计方案的评价一般分为优= 合格= 不
合格三个等级% 因此评价集为2
N#O P $ % P & % P ’ Q ! , (
式中% P $ #优% P & #合格% P ’ #不合格% 可量化为
N#A R 8 % 9 H % H B -方案评价首先进行单因素评价% 然
后根据各个因素的重要程度运用模糊运算法则作模
糊综合% 形成电机设计方案的综合评判-单因素评
价% 即根据各个因素的特征值建立因素集 )对评价
集 N的隶属关系! 隶属函数( -模糊综合% 即在选择
恰当的模糊操作算子的基础上分级合成对各因素的
评价-
因素集 )中元素的隶属函数可归纳为成本型=
效益型= 适中型= 区间型等 ,种类型-例如电机的材
料成本和起动电流的特征值是越小越好% 为成本型S
电机效率= 气隙磁密和起动转矩的特征值是越大越
好% 为效益型S 电机内部定转子齿部和轭部磁密= 绕
组导线电密= 热负荷和槽满率的特征值不能过大也
不能过小% 如磁密过小材料利用不充分% 过大损耗过
大% 为适中型S 输出功率= 空载转速和额定转速的特
征值期望就是设计要求值% 不要偏离设计要求值% 为
区间型-应用模糊分布法和电机内部作用规律如磁
化曲线的形状分别确定了各因素的隶属函数-由于
不同型号的电机的因素集中元素特征值的实际值相
差较大% 因此根据因素特征值进行单因素评判时% 一
般首先将他们转化为标么值或者相对值-由于篇幅
限制仅具体给出额定功率的隶属函数及其图像% 如
图 & T图 ,所示-E $ ! U ( % E & ! U ( % E ’ ! U ( 分别代表设计
额定功率指标对优= 合格= 不合格的隶属函数式! 8 (
微电机 & H H &年 第 ’ 8卷 第 $期! 总第 $ & ,期
W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W W
(

!" # $ %函数中的参数 & ’依据不同的因素选取不同
的值( 选取的主要依据为国家和行业标准) 电机相关
的理论和制造工艺%设 * +设计期望值( *设计值( 令
, -" * .* + $ / * + ( 则隶属函数为0
1 2 " , $ -
+ , 3& 4
& 4 .,
& 4
& 4 5, 3+
+ 6 7 8" 2 .9 : ; "<
& =
" , .& =
4$ $ $ + 5, 3& =
+ , >&
?
@
A =
" 7 $
1 4 " , $ -
+ , 3& 2
, .& 2
& 4 .& 2
& 2 5, 3& 4
,
& 4
& 4 5, 3+
,
& =
+ 5, 3& =
+ 6 7 8" 2 .9 : ; " <
& B .& =
" , .& B C& =
4 $ $ $ & = 5, 3& B
+ , >&
?
@
A B
" D $
1 = " , $ -
2 , 3& 2
& 4 .,
& 4 .& E F 2
4
& 2 5, 3& 4
+ & 4 5, 3& =
+ 6 7 8" 2 C9 : ; " <
& B .& =
" , .& B C& =
4 $ $ $ & = 5, 3& B
2 , >&
?
@
A B
" # $
图 4 额定功率的隶属函数图象 G 2 " , $
图 = 额定功率的隶属函数图象 G 4 " , $
单独从一个因素出发进行评判( 以确定因素集
元素对评价集元素的隶属程度( 构成单因素评判矩
阵%设因素集中第 ’ 个因素 H’对评价集中第 I个元
素 J I的隶属度为 K ’ I ( 则第 ’ 个因素的评价结果可用
模糊集合表述为 K ’ -K ’ 2 / J 2 CK ’ 4 / J 4 CK ’ = / J = %将因素
图 B 额定功率的隶属函数图象 G = " , $
集 H中各元素的单因素评判集按照它们的层次关
系组成单因素评判矩阵 L M2 ) L M4 ) L M= ) L M= 2 %
L M2 -
K 2 2 2 K 2 2 4 K 2 2 =
K 2 4 2 K 2 4 4 K 2 4 =
K 2 = 2 K 2 = 4 K 2 = =
K 2 B 2 K 2 B 4 K 2 B =
K 2 7 2 K 2 7 4 K 2 7 =
K 2 D 2 K 2 D 4 K
N
O
P
Q 2 D = D 8=
L MR -
K R 2 2 K R 2 4 K R 2 =
K R 4 2 K R 4 4 K R 4 =
K R = 2 K R = 4 K R = =
K R B 2 K R B 4 K
N
O
P
Q R B = B 8=
R -S 4 ( = ( = 2 T " U $
通过建立电机设计方案的因素权重集和单因素
评判矩阵( 可进一步选取恰当的模糊操作算子分级合
成因素权重集和单因素评判矩阵( 从而得到设计方案
的综合评价值%由评价因素集可知因素合成分为三
级( 式" V $ !" 2 4 $ 组成了三级模糊综合评判模型%
一级模糊综合评判即磁密特征的综合评判0
L W= 2 -L X= 2
L YM= 2 ( L K = 2 -L W= 2 " V $
二级模糊综合评判0
L W2 -L X2
L YM2 ( L W4 -L X4
L YM4 ( L W= -L X=
L YM= " 2 + $
三级模糊综合评判0
L W-L XY
L W2
L W4
L W
N
O
P
Q =
-L L XYM " 2 2 $
综合评价值0 Z-L W[\]
式" 2 4 $ 中
L W[是
L W的归一化向量%
式 " V $ !" 2 2 $ 中 ^ I-" _ 2
‘ [ K 2 I $ C [ " _ 4
‘ [ K 4 I $ C [ aC [
" _ b
‘ [ K bI $ ( I -2 ( 4 ( ac ( ‘ [ 为广义模糊与操作( C [ 为广
义模糊或操作% 广义模糊与操作 K [ ’ I-_ ’
‘ [K ’ I 就是在全
面考虑各种因素时( 对因素 H’的评价属于 J I的隶
属度的修正%广义模糊或操作就是对修正后的 K [ ’ I进
行综合处理得到合理的综合评判%它们一起就构成
了广义模糊操作算子 d" ‘ [ ( C [ $ ( 它主要分为主因素
突出型和加权平均型%每一种模糊操作算子或者它
们的组合都对某一特定问题最为有效( 若模糊操作
算子选择的不恰当( 会得出不合理甚至错误的结果%
通过分析各因素及其组合在电机电磁设计方案中的
作用) 地位和实际计算给出了供选择的三种组合模
型" 表 2 $ ( 并分别给出了它们对表 =所列 7个设计
f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f f
电机设计方案的多级模糊综合评判 李鲲鹏 胡虔生

方案的评价结果!评价因素子集 "#是较为重要的$
因此这三个模型仅在 %# 的合成上作了较为细致的
比较$ 如表 &所示! 从表 &可知这三个模型在比较好
和特别差的方案的区分方面是一致的$ 但是个别方
案的优劣次序有所不同! 经比较$ 本文采取模型 #作
模糊综合!
表 # 模糊操作模型
’ %( # )’ *( #
’ +,( #
’ %# )’ *#
’ +,#
’ %& )’ *&
’ +,&
’ %( )’ *(
’ +,(
’ %)’ ’ *+,
模型 # -. /$ 01 -. 2$ 01 -. /$ 01 -. /$ 01 -. /$ 31
模型 & -. /$ 01 -. /$ 01 -. /$ 01 -. /$ 01 -. /$ 31
模型 ( -. /$ 01 -. /$ 31 -. /$ 01 -. /$ 01 -. /$ 31
表 & 三种模型的评价效果比较
4 5 6 7# 5 6 7& 5 6 7( 5 6 78 5 6 79
模型 # : ; < & & ; & < = : : : < ( ( 8 # < ( # & 9 < = 8
模型 & : = < # ; ; : < & # : > < = = ( = < ? & # = < > 8
模型 ( : > < ( 8 : ? < 9 = : ; < 9 ? ( 9 < = > & ; < 8 9
@ 程序设计
电磁设计方案的模糊综合评判程序由方案输入
及预处理A 模糊综合评判A 结果分析三部分组成!方
案输入及预处理B 输入电机设计方案并作数据标么
化处理和确定隶属函数的相关参数$ 如设计要求值A
材料成本市场平均值等! 模糊综合评判B 在层次分析
法的基础上采用交互的方式确定各级评价因素的权
重B 计算各因素对评价集的隶属度形成单因素评价
矩阵C 利用模糊算子作模糊综合评判!结果分析B 分
析综合评价结果及局部评价信息$ 确定方案调整的
策略A 选择设计方案! 图 9给出了电磁设计方案模糊
综合评判的程序框图!
图 9 电磁设计方案模糊综合评判程序框图
D 实例分析
本文给出了某永磁无刷直流电动机的电磁方案
设 计实例$ 如表 (所示!电机的性能要求 EF)
# > ? 4$ G H? < : $ I F)& ? ? J K LM N $ I ?)& 8 ? J K LM N $ O P Q R
( : S$ TP Q H8 ? FL!
表 ( 永磁无刷直流电机的电磁设计方案
设计方案 方案 # 方案 & 方案 ( 方案 8 方案 9
"#
"# # 额定输出功率K 4 # > ? < 8 # : = < & # > ? < & # > ? < ; # > ? < 9
"# & 电机效率 ? < ; = 9 : ? < : 8 8 : ? < : : & > ? < : # # # ? < : # > (
"# ( 额定转速K . J K LM N 1 & ? 9 < ? & & ; < ? ? & ? > < 9 & 8 ? < ? & : & < ?
"# 8 空载转速K . J K LM N 1 & 8 ( < > & : ( < : 8 & ( = < # 9 & : : < ( : ( ( ( < : ;
"# 9 起动电流K S ( : < & > ( > < ; 8 ( = < : ; 8 ? < : ; ( # < = 9
"# ; 起动转矩K FL 8 ( < ( ( 8 9 < & 9 8 8 < 9 & 8 8 < & = & > < ; :
"&
"& # 硅钢片重量K U V & < > # > & < 8 & ; & < > ; 9 & < > # 9 & < # # 8
"& & 铜导线重量K U V ? < = # ? ? < = 8 9 ? < = ? 8 ? < > = : ? < = ( &
"& ( 磁钢重量K U V ? < & : # ? < ( 8 > ? < ( ( 9 ? < & 8 = ? < 8 & >
"& 8 钢壳重量K U V # < ? ; ( # < & # & ? < = 9 # ? < = = 8 ? < > ? #
"(
"( #
"( # # 气隙磁密K W ? < ; ; ( : ? < ; 8 8 & ? < ; & = = ? < ; ( ( > ? < 9 ( > 8
"( # & 转子轭部磁密K W # < # = > & # < ? : 9 : # < ; : & 9 # < & > = ( # < & ; 9 #
"( # ( 定子齿部磁密K W # < 8 & ( ; # < 8 > : # # < 8 ( ; # # < ( 9 ( = # < & # ? 8
"( # 8 定子轭部磁密K W ? < = > ; : & < & ( 9 & # < ? > 9 # # < ? 8 # 9 # < ? = # :
"( & 导线电密K . SK LL& 1 ; < & = 9 < ; ( 9 < 8 9 9 < = ( ; < 8 9
"( ( 热负荷K . S& K LL( 1 # ? & ; > ? > < ; > 8 ; < ; > = = < = # & & ( < 9 ;
"( 8 槽满率 ? < ; 8 ? < ; 8 ? < ; # ? < 9 = ? < ; ( :
. 下转第 & &页1
微电机 & ? ? &年 第 ( 9卷 第 #期. 总第 # & 8期
Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y Y
1

图 ! " #参数对比实验
参考文献$
% & ’ ( )* + , - ( )* + ./ 0 1 2 3 4 3 5 6)5 7 3 5 68 5 6 7 0 5 9 9 1 0 % :’ ;<= >
7 3 5 6 = 9 ? 1 @3 2 5 6 A B 2 7 5 08 5 0 C 5 0 7 3 5 6 ; & . , , ;
% + ’ 陈伯时; 基于 ?型函数单神经元控制的直流传动系统
% D ’ ; 电气自动化E & . . * E F ! G E H IJ ;
作者简介$ 谷爱昱F & . J K IG E 女E 博士研究生E 研究低速
永磁同步电动机
LLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLL
M
F 上接第 & H页G
表 H 电磁设计方案评价结果
N& N+ NO N P
Q ( R& % K ; J H E K ; J ! E K ; K + ’ % K ; H K E K ; * * E K ; K + ’ % K ; + H E K ; J K E K ; & + ’ % K ; ! & E K ; ! + E K ; K + ’ J * ; + +
Q ( R+ % K ; * O E K ; , K E K ; + . ’ % K ; K , E K ; ! K E K ; + . ’ % K ; + ! E K ; H & E K ; O * ’ % K ; H H E K ; ! * E K ; + K ’ * + ; . J
Q ( RO % K ; . , E K ; * . E K ; K J ’ % K ; K H E K ; * J E K ; & H ’ % K ; O , E K ; ! & E K ; & & ’ % K ; * . E K ; H , E K ; K ! ’ J J ; O O
Q ( RH % K ; O ! E K ; H + E K ; * H ’ % K ; ! H E K ; H H E K ; K + ’ % K ; + O E K ; J K E K ; K , ’ % K ; + H E K ; + . E K ; H ! ’ H & ; O &
Q ( R! % K ; + H E K ; & , E K ; , , ’ % K ; + + E K ; + ! K E K ; ! ! ’ % K ; O & E K ; * H E K ; & & ’ % K ; & J E K ; & O E K ; * & ’ + ! ; . H
表 H列出了的 !个设计方案的二级S 三级综合
评判的模糊分布和设计方案的综合评价值M方案 H
和方案 !为不合格方案E 从 N&可知它们在电机主要
性能指标方面不合格E 且方案 !的成本较高T 方案
& S 方案 + S 方案 O为合格方案E 它们在性能指标方面
基本合格E 由 NO可知方案 +的电机内部的主要参数
相对较差一点T 从综合指标看方案 O比较好 M我们
认为综合评价值 PU! K设计方案不合格E 必须进行
方案调整T PV! K设计方案基本合格E 可以进入下
一步优化设计T PV, K设计方案已达到优良水平M
W 结 论
设计方案评价是电机设计过程中的一个重要环
节E 方案评价的模型化和量化是实现电机设计智能
化的组成部分M实例分析表明本文建立的电机电磁
设计方案的多级模糊综合评判模型是有效的E 其评
价结果是正确S 可信的M 模糊理论和方法在电机设计
中的进一步应用是E 根据模糊评判结果利用模糊推
理或者模式识别方法确定方案调整的策略与调整幅
度E 逐步实现电机设计过程的智能化M
参考文献$
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社E & . . J ;
作者简介$ 李鲲鹏F & . J J RG E 男E 硕士研究生E 主要从事
交流电机设计和遗传算法的研究
LLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLLL
M
F 上接第 & K页G
% ! ’ / ;X= Y 6 1 0 ;/ 3 1 Z 5 1 9 1 2 7 0 3 2)5 7 5 0 4= 6 A)3 2 0 5 @5 7 5 0 4
% )’ ; :5 2 7 5 0 = 9 [\ 1 4 3 2 E8 0 = 6 ] 3 1 9 A^6 3 _ 1 0 4 3 7 Y E+ K K K ;
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/ 3 1 Z 5 1 9 1 2 7 0 3 2)5 7 5 0 E/ \ :[\ 1 4 3 4 % )’ ; :1 C ; 5 ]8 5 6 >
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微电机 + K K +年 第 O !卷 第 &期F 总第 & + H期
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